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碳化硅晶舟核心功能是在高溫、腐蝕性環(huán)境中穩(wěn)定承載硅片、晶圓或其他基板,廣泛應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積(CVD)、擴(kuò)散、退火等工藝。
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